用于 200-300mm 硅晶片的高分辨率厚度和平面度 (TTV) 测量仪

Name: 用于 200-300mm 硅晶片的高分辨率厚度和平面度 (TTV) 测量仪
SKU: MX 1012
Price: 1350.00 CNY
Availability: InStock
Rating: 5.0 (1 reviews)

用于 200-300mm 硅晶片的高分辨率厚度和平面度 (TTV) 测量仪。几秒钟内即可轻松适应不同的厚度范围。可集成到机械分选⼿机系统中。 MX1012 非常适合用于研发、工艺鉴定以及厚度和平面度 (TTV) 的工艺控制，尤其是研磨和研磨后的厚度和平面度 (TTV)。一对电容式传感器对每个晶片上的四个径向轮廓（45 度）进行采样，这些轮廓由数百个局部厚度值组成。如果您的应用需要，可以简单地增加四个标准扫描，以达到更高的测量覆盖率。配有功能强大的MX-NT 操作软件。

1 review(s)

Manufacturer: E+H Metrology

Availability: In stock

SKU: MX 1012

1,350.000 (CNY)

Qty:

Ship to

Shipping Method

Name

Estimated Delivery

Price

No shipping options

MX 1012

应用

用于 200-300mm 硅晶片的高分辨率厚度和平面度 (TTV) 测量仪。

几秒钟内即可轻松适应不同的厚度范围。可集成到机械分选⼿机系统中。
MX1012 非常适合用于研发、工艺鉴定以及厚度和平面度 (TTV) 的工艺控制，尤其是研磨和研磨后的厚度和平面度 (TTV)。一对电容式传感器对每个晶片上的四个径向轮廓（45 度）进行采样，这些轮廓由数百个局部厚度
值组成。如果您的应用需要，可以简单地增加四个标准扫描，以达到更高的测量覆盖率。配有功能强大的MX-NT 操作软件。

测量类型

厚度平整度（TTV）

特点

晶片直径	200 毫米、300 毫米
精度	±0.1 µm
分辨率	10nm
局部分辨率	1 毫米
扫描次数	最多 8 次
软件	MXNT

Resolution

Spartial Resolution

Scans

Dynamic Range

Software

4“, 5“, 6“

±0.1 µm

10nm

1mm

100 or 350µm

MXNT

6“, 8“

±0.1 µm

10nm

1mm

100 or 350µm

MXNT

8", 12"

±0.1 µm

10nm

1mm

up to 8

100 or 350µm

MXNT

12", 18"

±0.3 µm

10nm

1mm

up to 8

100 or 350µm

MXNT

Products specifications

Attribute name	Attribute value
Screensize	13.3''
System unit
CPU Type	Intel Core i5
Memory	4 GB
Hard drive	128 GB

Existing reviews

Some sample review

This sample review is for the HP Spectre XT Pro UltraBook. I've been waiting for this product to be available. It is priced just right.

From: John | Date: 10/11/2025 8:44 AM

Was this review helpful? Yes No (0/0)

Only registered users can write reviews

用于 200-300mm 硅晶片的高分辨率厚度和平面度 (TTV) 测量仪

MX 1012

应用

测量类型

特点

MX 102-6

MX 102-8

MX 1012

MX 1018

用于 200-300mm 硅晶片的高分辨率厚度和平面度 (TTV) 测量仪

应用

MX 102-6

MX 102-8

MX 1012

MX 1018

单点测厚仪MX 3012-AC

用于 300-450 毫米硅晶片的高分辨率厚度和平面度（TTV）测量仪