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iGrapher 大型紫外直写光刻系统

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技术特点

  • 采用DPSSL 355nm光源
  • 支持8-130英寸幅面
  • 超高精密系统
  • 高精度环控系统
  • 主动式隔振系统
  • 高精度气浮运动平台
  • 高速图形化
  • 频闪平铺光斑曝光
  • 3D导航自动聚焦

  • 规格参数

  • 应用示例

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