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MiScan 高效混合直写光刻系统

MiScan 高效混合直写光刻系统
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MiScan 高效混合直写光刻系统

技术特点

  • 可选配大功率光源405nmLD、355nmDPSSL（Dpssl355nm激光光源寿命大于20000小时）
  • 标准支持12英寸幅面基板，其他幅面可定制
  • 多维光刻(偏振曝光、干涉曝光、1024阶3D曝光)
  • 高精密工件台
  • 高精度环控系统
  • 自动聚焦，实时对准
  • 分区定位，多基片，多任务曝光
  • 支持自动与手动对准
  • GDSII、BMP、STL等文件格式支持

 

规格参数

* 具体指标因工艺差异有所不同

 

应用示例

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