Plasma Local Scrubber

Plasma Local Scrubber（等离子体局部废气处理设备）是一种先进的废气处理系统，特别适用于半导体制造等高精度工业环境中处理有毒、易燃、腐蚀性废气

工作原理

Plasma Local Scrubber结合了非热等离子体（Non-thermal Plasma）技术和水洗技术，其工作原理如下：

1. 等离子体处理阶段：

   • 通过产生低温等离子体（非热等离子体），在分子层面分解废气中的有害成分
   • 等离子体通过氧化和电离作用，将有机污染物（如VOCs）分解为无害的CO₂和H₂O
   • 适用于处理复杂成分的废气，特别是传统水洗技术难以处理的污染物