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反射式数字全息显微镜(DHM-R),非扫描非接触无损测量,显示静态和动态三维形貌,表征周期振动。
DHM使用便利,除了科研应用,得益于其高图像采集率,DHM还能作为常规快速检测装备适用于工业自动质量检测。
反射式数字全息显微镜DHM-R拥有三种型号, 主要区别在于不同的激光源数量:
反射式DHM®兼容所有可选配件:包括频闪模块、后期分析软件MEMS analysis tool 和Reflectometry analysis tool。每个DHM®可以灵活选择装配模式,例如装配在默认结构台,或者只选择DHM®探测头,之后可以集成在其他设备或者生产线上。DHM®兼容多种电动样品台。
超高速记录动态三维形貌
DHM采用非扫描机制,采集单帧图像既能记录样品表面三维形貌,因此拥有其他技术无法匹敌的图像采集速度。使用标准相机采集速度为视频速率30帧/秒,而高速相机可以达到1000帧/秒, 使得以下应用变为可能:
多种可控环境下测量
独特的光学原理和光路设计使得DHM能够满足使用者在各种环境下的测量需求,提供灵活和便利的测量体验:
MEMS测振分析,最高可达25 MHz
频闪模块(可选配件)可同步DHM测量时激光脉冲与MEMS器件的激励信号,获取振动周期内的全视场振动模态。这些特有的分析数据可提供以下信息:
测量透明样品三维形貌
得益于DHM® 多激光源配置, 通过专用反射分析软件(可选配件)可以表征透明薄膜样品, 包括: