DM-110h 测量晶体硅光伏 （PV） 晶圆内的发射极片电阻。这种创新产品是业界最准确、最可靠的非接触式测量工具，可表征扩散和退火过程结果。它快速对每个晶圆上的离散点模式进行测量，如自动晶圆处理系统所呈现的那样。其专利技术为过程控制和优化提供了准确的实时测量。
该系统与 Aurora 的 Visualize™ 质量控制系统和熔炉自动化集成，以将测量值与每批晶圆位置保持一致。这提供了炉
