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SIDMEL SAME200是俄罗斯制造的微波等离子体化学蚀刻装置,设计用于微电子领域的研究。该装置允许您蚀刻电介质(氧化硅)和各种聚合物(抗蚀剂、聚酰亚胺、环氧树脂)。适用于研发实验室、中试和小规模生产。
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