日本UNION联合光学 高性能台式口罩对齐器EMA-400
该产品是一款节省空间、易于操作、高性能、低成本的掩模对准器，非适合在大学和企业实验室使用。
该产品是同类产品中首款使用双物镜显微镜和积分透镜（照明系统）的产品，可实现高精度对准和打印。
日本UNION联合光学 高性能台式口罩对齐器EMA-400
该产品是一款节省空间、易于操作、高性能、低成本的掩模对准器，非适合在大学和企业实验室使用。
该产品是同类产品中首款使用双物镜显微镜和积分透镜（照明系统）的产品，可实现高精度对准和打印。
| 面罩尺寸 |
最大□5英寸 |
| 晶圆尺寸 |
最大φ4英寸 |
| 曝光照明 |
250W超高压汞灯 |
| 光学方式 积分透镜方式 |
| 照度不均±5%以下 |
| 照度20mW/cm2（405nm） |
| 有效曝光范围 φ100mm |
| 曝光：由数字定时器驱动的旋转螺线管 |
| 曝光模式 |
软接触、硬接触 |
| 解决 |
2μm（硬接触时） |
| 对准范围 |
双物镜显微镜 |
| 10倍物镜2片（NA0.15 WD30mm） |
| 物镜距离15-75mm |
| 目镜NWF10×（视场数18） |
| 总放大倍数 100 倍 |
| 晶圆台 |
XY平台行程±5mm |
| θ旋转行程±5° |
| Z轴行程0-4mm |
| 对准方式 |
通过移动晶圆台进行手动对准 |
| 对位精度 |
±3μm |
| 安装尺寸 |
735(宽)×490(深)×605(高)毫米 |
| 安装重量 |
约90公斤 |
| 公用事业 |
电源AC100V 15A 50/60Hz |
| 真空（压力）21.3kPa（距大气压-80kPa） |
| N²气或干燥空气（压力）0.2MPa以上 |
