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Hisomet DH2 是一款基于光学对焦探测系统的非接触式深度/高度测量显微镜。它通过在观察测量点表面的同时,进行精确对焦来实现高精度测量。
根据您提供的资料,其主要特点和技术规格如下:
放置样品:将待测样品放置在显微镜载物台上。
寻找焦点:操作员通过目镜观察,并旋转微调旋钮控制物镜在Z轴方向上下移动。
对焦判断:当样品表面处于焦点位置时,目镜中分裂的指数标线会重合为一个完整的图形。
读数记录:此时,高精度的数字指示器会记录下当前的Z轴坐标值。
重复测量:将焦点分别对准待测结构的顶部和底部,两次读数的差值即为高度或深度值。
主要优势:
无损测量:对软质、易变形、高光亮表面等无法接触测量的样品是理想选择。
高精度:0.1µm的分辨率足以满足绝大多数精密制造领域的检测需求。
直观易用:结合视觉观察和对焦指示,操作简单,结果可靠。
功能专注:专注于Z轴尺寸测量,在特定应用中比大型影像测量仪更高效、成本更低。
典型应用行业与对象:
半导体与电子:IC芯片的焊球高度、引线框架的台阶高度、PCB板的铜厚、封装体厚度。
精密机械加工:微小孔深、沟槽深度、垫片厚度、刀具的刃高。
材料科学:薄膜、涂层的厚度测量。
汽车工业:精密喷嘴、阀座的深度尺寸检测。