氧碳测试仪 | 碳氧测试仪

氧碳测试仪 | 碳氧测试仪

产品概述

        工业傅立叶变换红外光谱仪（氧碳测试仪），是分析单晶硅中氧和碳元素含量的专业设备，其独特的创新技术和精巧设计为新一代红外光谱仪树立了标准。

傅立叶红外技术可以快速、灵敏、无损地分析单晶、多晶硅材料中的碳氧含量，因此它在硅材料质量控制领域被广泛接收和应用。

• 根据ASTM/SEMI MF1391标准，建立了室温硅中代位碳原子含量分析测试方法。

• 根据ASTM/SEMI MF1188标准，建立了室温硅中间隙氧含量分析测试方法。

• 可达超低检出限：＜400ppba

• 建议的样品特征：厚度0.5-2.5mm，双面抛光，单晶或多晶型。

产品特点：

• 可选触屏PC操作界面，有助于实现简单的工作流程

• 创新型Multi^Tect检测器技术，支持多达5个室温检测器

• Transit测量通道，满足中红外透射快检需求

• RockSolid永久性准直干涉仪，让您能够轻松地更换分束器

• FM技术，实现 6000 cm^-1 到 80 cm^-1中远红外谱区的一次性测量

• 可实现近红外、远红外和紫外/可见光光谱范围的轻松升级