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桌面单点测量 低成本的台式少子寿命测量系统,对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴,用于厚度在156毫米以下的晶圆。用于非接触和非破坏的少子寿命测试符合半导体行业标准SEMI PV9-1110|硅|化合物合半导体|氧化物|宽带隙材料|钙钛矿|外延层[ CdTe | InP | ZnS | SiC | GaAs | GaN | Ge ] 结果可视化的标准软件。