MDPinline ingot系统是一种多晶硅晶锭电学参数特性测量工具。它是专为高通量工厂的单块晶锭测试而研发的。每块晶锭可以在不到一分钟时间里测量其四面。所有的图谱(寿命，光电导率，电阻率)都是同时测量的。
该系统包括一个数据库和统计数据评估，可用于自动确定精确的切割位置，以提高成品率。用于材料质量监控，炉选择和工艺改进。
性能
无接触破坏的半导体特性少数载流子寿命的检测能力
Automated determination of cut off criteria 先进的灵敏度让所有隐形缺陷可视化自动切割标准定义获取体材料性质的稳态测量完全自动化的内联集成对太阳能级硅錠进行扫描，1mm分辨率测量时间:1分钟内完成晶锭的面扫描，可自动测量所有4个面
优势
- 先进光伏晶圆厂多晶硅晶锭在线特性快速检测的世界记录。
- 在1分钟内完成分辨率大于1mm成像扫描测试，同时可完成电导类型转变的空间分布扫描和电阻率的
- 线扫描测试。客户定义的切割标准可以传输到晶圆厂数据库，该数据库允许对下一代光伏晶圆厂进行完全自动化的材料监控。
- 对炉料进行质量控制和炉况监测，并进行失效分析。特殊的“underneath the surface”测量技术大大减少了表面重组造成的数据失真。
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Recognition of cracks, chunks etc. 
Automated cut criteria definition, lifetime map -
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- 技术参数
| 样品 |
多晶硅晶锭 |
| 样品尺寸 |
125 x 125到 210 x 210 mm² |
| 硅錠最大长度 |
600 mm |
| 电阻率 |
0.2 - 10³ Ohm cm |
| 电导类型 |
p, n |
| 材质 |
多晶硅 |
| 检测性能 |
寿命(稳态或非平衡(μ-PCD)可选择的)，光电导性 |
| 激发光源 |
980 nm （默认） |
| 测量时间取决于样品 |
例如1mm分辨率 156 x 156 mm², 300 mm：不到2分钟 |
| 尺寸 |
2300 x 800 x 1200 mm, 重量：250 kg |
| 电源 |
110/220V, 50/60 Hz, 8 A |
其它细节
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选项
- 电阻率图 ，1 cm² 分辨率
- p/n 等效图，1 mm² 分辨率
- 铁浓度分布图
