SRPV系列膜厚传感器

光学膜厚传感器,SRPV100 是一款应用于光伏TopCon产品Poly膜厚在线监控的传感器,紧凑集成化设计,操作简便,通过分析干涉形成的反射光谱,准确表征Poly薄膜厚度、光学常数等信息
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一、产品概述

SRPV100光学膜厚传感器是一款应用于光伏TopCon产品Poly膜厚在线监控的传感器,紧凑集成化设计,操作简便,通过分析干涉形成的反射光谱,准确表征Poly薄膜厚度、光学常数等信息。

 

二、产品特点

■可覆盖微绒面和抛光面应用场景; 

■对样品倾斜以及工作距离变化不敏感;

■测量精度高;

■高速测量;

■丰富的工业测量经验。

 

三、测量原理

薄膜上下表面反射光由于相互之间的相位差增强或者减弱,相位差取决于光的波长和光程(等于薄膜光的往返距离×折射率),透明薄膜,光程差等于波长整数倍,反射相长。

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