ALPAO高速变形镜
变形镜,又称变形反射镜(DM),主要运用于各种自适应光学系统之中,主要用于校正波前畸变,它由很多驱动单元组合而成,每个驱动单元都有自己独立的控制器,在外加电压控制下,变形镜的镜面可以产生需要的形变量,从而对波前像差进行调制。变形镜是自适应光学系统中的重要部件之一。
ALPAO是从法国JosephFourier大学独立出来的公司,主要开发电磁场驱动的MEMS驱动器,最高到820 个驱动器,行程达80µm,表面质量<7nmRMS,采用目前先进的抛光工艺,表面粗糙度<1nm,变形镜的响应时间只有500us,带宽可以达到2KHz。
ALPAO公司MEMS变形镜结构紧凑、相较于波士顿、Imagine等其他的微变形反射镜具有波前调制量大低磁滞性<1%,高线性度>97%。相比于MEMS静电变形镜来说,电磁驱动变形镜相较于压电变形镜的优点在于其巨大的变形量,更高的调制精度。
Alpao高速变形镜采用电磁驱动器来使硅薄膜连续反射面发生形变,拥有大波前调制量、高线性度和可以进行实时波前调制等特点,非常适合天文、自由空间激光通信、眼科、多光子荧光显微镜和微电子(下一代半导体设备)等应用。同时,Alpao拥有科学的自适应光学系统控制算法,结合基于EMCCD技术的高灵敏度、高速波前传感器可以实现实时的大气湍流校正。
Alpao是一家从法国的格勒诺布尔约瑟夫•傅里叶大学独立出来的公司,其主要致力于开发使用电磁驱动器的高速、高线性度和大波前调制量连续反射面变形镜,其产品广泛用于天文、自由空间激光通信、眼科、多光子荧光显微镜和下一代高端半导体设备等应用,与欧洲南方天文台(ES0)、霍华德·休斯医学研究所(HHMI, Betzig)与罗切斯特大学在天文、多光子荧光显微镜及眼科应用上面取得了异常丰硕的研究成果。
主要特点:
调制量大:波前相位调制幅度超过80μm
稳定度高:+/-1% over 30s,<10nm RMS over hours
· 高动态范围 :响应时间小于500μs
· 镀膜质量高: R>97% @500nm- 2.0µm
表面平整:表面粗糙度 <15Å RMS
亚纳米步长精度
低磁滞:磁滞误差小于1%
单通道相位调制幅度>5.0 µm PTV
型 号 参 数 | DM69 | DM88 | DM97-08 | DM97-15 | DM241 | DM277 | DM468 | DM820 |
单通道口径 | 1.5mm | 2.5mm | 0.8mm | 1.5mm | 2.5mm | 1.5mm | ||
通道数 | 69 | 88 | 97 | 97 | 241 | 277 | 468 | 820 |
孔径 | 10.5mm | 20.0mm | 7.2mm | 13.5mm | 37.5mm | 24.5mm | 33.0mm | 45.0mm |
闭环系统镜面平整度 | 7.0nm RMS (no print through effects) | |||||||
最大形变量(PTV) | 60µm | 40µm | 80µm | 60µm | 40µm | 15µm | ||
聚焦/散光形变量(PTV) | 40µm | 30µm | 40µm | 40µm | 30µm | 10µm | ||
3x3最大形变量(PTV) | >25µm | >10µm | ||||||
响应时间(+/-10%) | 800μs | 1.6ms | 800μs | 1.6ms | 500μs | |||
带宽 | >750HZ | >400HZ | >750HZ | >400HZ | >2000HZ | |||
45°相位延迟频率 | > 500 Hz | > 300 Hz | > 500 Hz | > 300 Hz | > 1500 Hz | |||
回程误差 | <2% | |||||||
非线性误差 | <3% | |||||||
涂层 | 保护银(或其他高反射率涂层) | |||||||
操作温度 | -10~35℃
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法国Alpao公司开发的高速变形镜为电磁驱动式、连续型反射镜面,驱动电极多、可快速设定时间从而实现快速的波前校正。可应用于天文望远镜、主动光学、自适应光学、激光通信等领域。。
供货清单:
* 变形镜
* 电子控制箱
* 可用于Labview, Matlab,C/C++和Python编程的SDK
特点:
* 更大变形量
* 更快响应速度
* 更高表面光学质量
* 更高稳定度
* 其他镀膜:金、铝、介质膜
* 更长质保时间:2年
应用:
* 天文光学
* 自由空间光通信
* 大气光学
* 自由曲面光学元件检测
* 视觉成像(如SLO、OCT等)
* 显微成像
* 光束整形等